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真空是指在給定的空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài)空氣質(zhì)量檢測(cè)儀，是一種物理現(xiàn)象。事實(shí)上，在真空技術(shù)里，真空系針對(duì)大氣而言，一特定空間內(nèi)部之部份物質(zhì)被排出，使其壓力小于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓空氣質(zhì)量檢測(cè)儀，則通稱此空間為真空或真空狀態(tài)。而工業(yè)上的真空則指的是氣壓比一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態(tài)，又可分為高真空、中真空和低真空。在現(xiàn)代許多高精密度的產(chǎn)品在制造過程中的某些階段必需真空使用程度不一的真空才能制造空氣質(zhì)量檢測(cè)儀，如半導(dǎo)體、硬盤、鏡片。下面工采網(wǎng)小編說(shuō)說(shuō)空氣質(zhì)量流量傳感器在低真空控制中的氣體流量測(cè)量相關(guān)應(yīng)用。

真空氣體流量的測(cè)量常見于需要真空氣流的過程， 如寬范圍濕度的發(fā)生過程，卷煙的生產(chǎn)過程及大氣環(huán)境的模擬過程等。在真空氣體流量的測(cè)量時(shí)流量調(diào)節(jié)過程中一氧化碳報(bào)警器， 調(diào)節(jié)閥必不可少。真空狀態(tài)下， 流經(jīng)調(diào)節(jié)閥的流量幾乎完全由閥前、后壓力、氣流溫度四個(gè)變量決定。因此。真空狀態(tài)下， 氣體流量的測(cè)量具有如下特點(diǎn) ：

（1） 流量密度小， 限制了渦街流量計(jì)與超聲流量計(jì)的正常使用。對(duì)于前者相應(yīng)的氣流推力過小，對(duì)于后者則會(huì)產(chǎn)生阻抗匹配的困難。

（2） 不允許引入明顯的壓力損失。真空管道上安裝流量計(jì)后增大了阻力氧氣檢測(cè)儀， 產(chǎn)生較大的壓損將使動(dòng)力損耗大大增加， 不利于節(jié)能。因而孔板流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、容積式流量計(jì)等均不適用。

（3） 流量計(jì)在負(fù)壓管道上安裝后， 如果存在泄漏很難覺察， 不僅會(huì)浪費(fèi)動(dòng)力， 而且會(huì)嚴(yán)重破壞內(nèi)部氣體環(huán)境。

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激光微調(diào)提高傳感器的互換性

流量傳感高達(dá)1．0 SLPM

低差壓傳感

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